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SKD2000 全自動化晶圓探頭臺 符合：6inch、8inch,LSI(大建設建設規模一體化化控制電路原理)和VLSI(超級大建設建設規模一體化化控制電路原理)等晶圓檢查。
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車輛闡述

適用范圍：

不適用以6inch、8inch,LSI(大市場面積ibms式電路系統系統)和VLSI(太大市場面積ibms式電路系統系統)等晶圓檢驗。

 

數據尺寸規格：

項目編號 頂目 項目 注
1 晶圓尺碼型號 晶圓直徑約 6/8寸  
2 晶圓板厚 150~1000μm  
3 薄厚測量誤差 ≤+50μm  
4 Die規格 0.25~100mm  
5 Index Time 反復的事件 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 控制精度 ≤+2μm  
7 主要效率 250mm/s  
8 遙測行程英文 ≥±120mm  
9 分別率 0.1μm  
10 Z軸 精準度 ≤+2μm  
11 最明顯速度慢 50mm/s  
12 旅程 ≥47mm  
13 辨認率 0.1μm  
14 θ 可調控位置 ±5°  
15 辨認率 0.00007°  
16 廠務需求 電流 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管子尺寸ф8  
18 真空氣中源 -80~-100KPa 公稱直徑ф6  
19 空機 盡寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 質量 1500Kg  
21 大電流大小軟件測試 直流電壓條件 0~800A 選型
22 壓力檢查 直流電壓時間范圍 0~3000V 配搭
23 低高溫測試軟件 溫度區域 -60~200℃ 選用
24 控溫精密度 ±0.1℃
25 溫度因素安全穩相關性 0.1℃
26 溫均衡性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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