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全主動晶圓探頭臺SKD3000 全智能式晶圓電極臺SKD3000是1款在8/12inch LSI（大的建設規模一體化式用電線路）和VLSI（巨型的建設規模一體化式用電線路）晶圓測量的電極臺。
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好產品形容

簡述：

全重新晶圓電極臺SKD3000是有款用以8/12inch LSI（大面積性融合用電線路）和VLSI（超小面積性融合用電線路）晶圓測試軟件的電極臺。

 

好處共同點：

1、高精準度測試英文探針臺測試英文層面的X/Y軸的非常精準定位精準度可以達到±2μm；

2、高鋼性Z/θ軸能變現Chuck長事件穩定性試驗；

3、供給自動上料機效果表，開發檢測器與Pad自動對位效果表。主要包括獨立性的光纖激光切割機的模式使檢測器卡上很多的針尖才可以自動脫貧攻堅地扎在應當的Pad上；

4、環保設備因素和自動運行階段短信等數據報告是可以自主運送或收到到固態硬盤和外觀計算的機設備，便于進行查詢和追述數據分析。

 

技術參數要求：

數字序號 工作 玩法 備注
1 機臺厚度及稱重 長寬比（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 稱重 約2.2T  
3 晶圓尺碼技術參數 晶圓直徑約 8"/12"  
4 晶圓薄厚 150~2200μm  
5 體積尺寸差別 ≤±50μm  
6 Die的尺寸 0.2~100mm  
7 檢測位置 公測步驟 X/Y方位接連測探  
8

θ

 可控制使用范圍 ±5°  
9 區分率 0.00007°  
10 X/Y軸 準確度 ≤±2μm  
11 較大 高速度 250mm/s  
12 檢測往返 ≥±160mm  
13 辨別率 0.1μm  
14 Z軸 精確 ≤±2μm  
15 較大訪問速度 50mm/s  
16 里程 ≥80mm  
17 辨別率 0.1μm  
18 OD空間 0~500μm  
19 Index Time 嵌套循環事件 230ms（6mm球以內的Die Z啟閉0.5mm）  
20 預對著 招商精準度 角度看≤±0.5°，中央角度≤0.2mm  
21 觸碰屏 標準 15Inch五線阻值式  
22 大直流電壓測驗 電壓面積 0~800A 選型
23 低壓測試儀 電阻值空間 0~3000V 配搭
24 高中冷藏測式 溫度表使用范圍 -60~200℃ 選用
25 控溫精確 ±0.1℃
26 體溫安全穩確定 0.1℃
27 工作溫度均勻的性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
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